详细说明
尼康将CFI60无限远光学系统用于集成电路检查显微镜，由此获得前反未有的高对此度图像。
产品详细信息
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CFI60无限远光学系统是将尼康著名的CF(自动消色差)设计与无限远光学系统结合在一起，使得物镜不仅工作距离更长，而且数值孔径更高；
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符合SEMI S2-93A,S8-95设计；
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利用计算机辅助工程系统（CAE）对机身进行防震设计；
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具有全面的防污染措施。
| 调焦机构
| 行程：29mm，粗调：每转12.7mm(扭矩可调，具有再聚焦制动装置)，微调：每转0.1mm，每格1?m。 |
| 落射照明器 | 内置12V100W卤素灯，内置式孔径光阑（中心可调），固定型视场光阑（具有可调对准板），还可安装选配的小孔光阑滑块，可安装的4个?25mm的滤光片（NCB11,ND4，ND16），具有起偏器和检偏器。 |
| 透射照明器
（仅L200D） | 内置12V100W卤素灯，内置式孔径光阑，内置式LWD聚光器，可安装的2个?25mm的滤光片（NCB11,ND4）。 |
| 物镜转换器 | 固定式六孔物镜转换器，具有DIC插槽 |
| 目镜筒 | 超宽视场可倾式三目镜筒 |
| 载物台 | 8X8载物台，行程：205X205mm （透射观察时：105X105mm）粗微移动可以互换，X-Y方向微动手柄位置固定。 |
| 目镜 | CFI目镜系列 |
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