技术参数 1. 真空度测量范围: 9.999×10-1~1×10-52. 离子电流测量范围: 9.999×10-1~1×10-73. 测 量 误 差: <10%4. 测 量 分 辨 率: 10-5pa5. 允许环境温度: -20℃~50℃6. 空 气 湿 度: ≤80%RH7. 电 源: AC,220V,50Hz±10%8. 外 型 尺 寸: 420×290×210(mm)9. 高 压 输 出: 脉冲30kV15kHz⒑ 重 量: 8kg
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