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真空度测量范围: 1*10-1~1*10-5
离子电流测量范围: 1*10-1~1*10-7
测量误差: <5%
测量分辨率: 10 Pa
充许环境温度:-20 ℃~50 ℃
空气湿度: <85%RH
电源: AC220V ± 10% 50HZ
外形尺寸: 430 × 300 × 215 ( mm )
高压输出:脉冲 30KV 15KHZ 重量: 8kg
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