一、小流量气体质量流量传感器-FSG4000系列主要特性:1)传感器灵敏度高,有极小的始动流量2)传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量3)在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高4)传感器的零点稳定度高5)全量程高稳定性6)全量程高精确度和优良的重复性7)低功耗8)低压损9)响应时间快二、小流量气体质量流量传感器-FSG4000系列典型应用: 适用于小流量气体质量的流量测量。
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