仪器特点
◆ 超精密全自动测量，四轴CNC控制；
◆ 精密花岗岩机台，精度高、稳定性好；
◆ 三轴THK精密直线导轨、精密传动系统；
◆ Renishaw开放式光栅尺，精度高、稳定性好；
◆ TZTEK自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量；
◆ 程控式6环8区环形表面光源，LED轮廓光源，同轴光源；
◆ 自动对焦测高，可加装接触式测头；
◆ 提供多种行程规格配置，如222、322、432、542等。
技术参数
| 型号 | VMU222 | VMU322 | VMU432 | VMU542 |
行程(mm) | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 |
外部尺寸(mm) | 1040×740×1620 | 1040×740×1620 | 1240×800×1620 | 1440×1000×1680 |
重量(kg) | 240 | 250 | 310 | 400 |
承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 |
测量精度 | XY轴* | E2=(1.5+L/300)μm | E2=(1.9+L/300)μm |
Z轴** | E1=(5.0+L/200)μm |
速度 | XY轴 | 200mm/S |
Z轴 | 100mm/S |
光栅尺 | 0.1μm Renishaw光栅尺 |
| 导轨 | THK |
图像传感器 | 130万像素数字彩色相机 |
光源 | 轮廓光 | LED冷光源，256级亮度可调 |
表面光 | 6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调 |
同轴光 | LED冷光源，256级亮度可调 |
光学镜头 | 12.5:1连续变倍 |
| 放大倍率*** | 光学放大倍率：0.6～7.5×；影像放大倍率：21～258× |
软件 | Vispec测量软件（VMU版） |
运动控制 | 自主专利的CNC直流伺服系统 |
保修期 | 1年 |
工作环境 | 温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80% |
振动<0.002g，低于15Hz |
电源 | 220V/50Hz/10A |
* L表示测量长度，以毫米为单位。
** Z轴的机械精度，聚焦的精度与工件表面有很大关系。
*** 放大倍率为近视值，具体指与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关；客户可根据需求选配0.5×或2×附加镜，实现影像放大倍率10.5～129×或42～516×。
应用行业
机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器，磁性材料、精密五金、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、计算机（电脑）、液晶电视(LCD)、印刷电路板（线路板、PCB）、汽车、医疗器械、钟表、仪器仪表等。
测量对象
LCD、FPC、PCB、线路板、螺丝、弹簧、钟表、手表、仪表、接插件（连接器、接线端子）、齿轮、凸轮、螺纹、半径样板、螺纹样板、电线电缆、刀具、轴承、五金件、冲压件、筛网、试验筛、水泥筛、网板（钢网、SMT模板）等。
测量元素
长度、宽度、高度、孔距、间距、Pin间距、厚度、圆弧、直径、半径、槽、角度、R角等。